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自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)

全自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)

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三維形貌儀
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白光干涉三維形貌儀

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白光干涉三維形貌儀

應(yīng)用領(lǐng)域:
PRB(Z)系列白光干涉三維形貌儀是采用國(guó)際最先進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級(jí)形貌測(cè)量?jī)x器,透過(guò)精密的掃描系統(tǒng)和自主專利的解析算法,進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測(cè)與分析。表面顯微成像能力與高精度測(cè)量的完美結(jié)合,只需數(shù)秒鐘,就能觀測(cè)到表面的三維輪廓、臺(tái)階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測(cè)量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅(jiān)固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐,具有出色的穩(wěn)定性。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便而快速,只需把被測(cè)物體放置到載物臺(tái),聚焦出干涉條紋,按下測(cè)量按鈕即可開(kāi)始整個(gè)測(cè)量過(guò)程。
    標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動(dòng)調(diào)整載物平臺(tái),可依據(jù)不同測(cè)試要求做彈性調(diào)整,并可選配電動(dòng)載物平臺(tái),以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測(cè)要求,樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測(cè)量和分析。
 
產(chǎn)品特點(diǎn):
?非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測(cè)量  
?高精度測(cè)量、垂直重復(fù)測(cè)量精度可達(dá)1nm
      垂直解析度可達(dá)0.1nm、水平解析度可達(dá)0.1um
?大面積測(cè)量  
      自動(dòng)縫合技術(shù)實(shí)現(xiàn)大面積高精度測(cè)量
?功能強(qiáng)大、使用便捷的測(cè)量分析軟件  
      PuruiVision應(yīng)用軟件可提供多項(xiàng)測(cè)量參數(shù)
?適用范圍廣泛   
      可以測(cè)量多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)
?真正意義的免維護(hù)及優(yōu)良的性能價(jià)格比
 
使用便捷的應(yīng)用軟件:
?硬件控制、二維載物平臺(tái)自動(dòng)控制、光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)聚焦、干涉信號(hào)處理
?測(cè)量結(jié)果顯示及各種方式處理
  二維平面和三維立體顯示
  任意放大或縮小顯示圖像
  調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn)
?粗糙度測(cè)量及結(jié)果顯示
  包括評(píng)價(jià)區(qū)域位置信息和多種粗糙度評(píng)價(jià)參數(shù)
? 線寬測(cè)量及結(jié)果顯示
  采用亞像素插值處理技術(shù),線寬測(cè)量精度最高可達(dá)0.1um
  表格形式顯示各種線寬結(jié)果
  根據(jù)事先確定的評(píng)判基準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)線寬自動(dòng)評(píng)判功能
?多幅相鄰區(qū)域測(cè)量結(jié)果自動(dòng)縫合
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:
    在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中,諸如半導(dǎo)體、微機(jī)電、平面顯示器、電子封裝及光學(xué)加工等,由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能,在其制成過(guò)程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行檢測(cè),PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無(wú)論是拋光表面還是粗糙表面,只要反光率超過(guò)1%,就能被完全檢測(cè)出來(lái)。
?半導(dǎo)體硅片及器件
?MEMS裝置表面
?平面液晶顯示器
?薄膜厚度
?金屬摩擦學(xué)
?陶瓷基板表面
?光學(xué)器件表面
?其他材料分析及微表面研究